真空計分類原理介紹
?按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī)這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學性能的影響，使用前一般需要預熱數(shù)小時。
皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī)如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準確度。
這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標定。
熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī)測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標定。
熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī)這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經(jīng)改進后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī)，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標定。
冷陰極電離規(guī)
冷陰極電離規(guī)這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。
與熱陰極電離規(guī)同樣的原因，這種規(guī)在使用時需要在不同氣體下標定。
量程范圍
編輯在較高壓力時(10～1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等。
在10～10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(熱傳導，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。
在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。
表1 真空計的適用壓力范圍