半導(dǎo)體制造設(shè)備原理

半導(dǎo)體制造設(shè)備的基本操作可分為電路設(shè)計/圖案設(shè)計、光掩模制作、前處理和后處理。

電路設(shè)計/圖案設(shè)計

電路設(shè)計/圖案設(shè)計涉及設(shè)計實現(xiàn)所需功能的電路，并進行多次仿真以考慮有效的圖案。專用 CAD 軟件用于設(shè)計半導(dǎo)體器件的圖案。