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真空計測量范圍

?真空計測量范圍

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壓力分為低真空、中真空、高真空、超高真空等真空度,根據(jù)真空計的類型不同,測量真空度也不同。
根據(jù)JIS(日本工業(yè)標準),真空度根據(jù)壓力范圍分為如下所示的五類。
皮拉尼真空計可以測量低真空到中真空,電離真空計可以測量中真空到超高真空。
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低真空:10 5 Pa~10 2 Pa
中真空:10 2 Pa~10 -1 Pa
高真空:10 -1 Pa~10 -5 Pa
超高真空:-5 Pa至1 0-8 Pa
極高真空:10 -8 Pa以下。
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