什么是皮拉尼真空計(jì)？
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什么是皮拉尼真空計(jì)？
皮拉尼真空計(jì)是一種利用電阻來(lái)測(cè)量真空度的傳感器。
皮拉尼真空計(jì)裝置體積小、攜帶方便、操作方便，因此在很多場(chǎng)合用于測(cè)量真空度。皮拉尼真空計(jì)也稱(chēng)為皮拉尼真空計(jì)或簡(jiǎn)稱(chēng)皮拉尼。
皮拉尼真空計(jì)的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉。當(dāng)探頭安裝在測(cè)量環(huán)境中時(shí)，流向探頭的電流根據(jù)真空度而變化，從而可以測(cè)量真空度。一般來(lái)說(shuō)，皮拉尼真空計(jì)由控制器和探頭組成，測(cè)量范圍約為0.5Pa至2KPa。
原則上，接近測(cè)量范圍下限時(shí)精度會(huì)降低，因此在壓力值很重要的測(cè)量中需要使用其他真空計(jì)。還有一些皮拉尼真空計(jì)，其中探頭和控制器可以分開(kāi)。有些真空計(jì)只能在測(cè)量范圍內(nèi)使用，如果在該范圍外使用就會(huì)損壞，但皮拉尼真空計(jì)很有吸引力，因?yàn)樗梢栽诖髿鈮合鹿ぷ鞫鵁o(wú)需擔(dān)心。
皮拉尼真空計(jì)的應(yīng)用
皮拉尼真空計(jì)用于需要真空達(dá)到控制的腔室、連接到石英管的流體回路以及需要表面清潔度的地方。具體來(lái)說(shuō)，它常用于中真空區(qū)域的測(cè)量。
中真空區(qū)域是使用油回轉(zhuǎn)真空泵可以達(dá)到的真空狀態(tài)，例如測(cè)量碳氟化合物氣體的吸入量時(shí)。皮拉尼真空計(jì)常用于高真空至超高真空抽氣系統(tǒng)的粗抽生產(chǎn)線以及高真空泵的背壓生產(chǎn)線。
然而，顯示值根據(jù)氣體的類(lèi)型和成分而變化，因此需要提前進(jìn)行充分的校準(zhǔn)來(lái)測(cè)量絕對(duì)壓力。皮拉尼真空計(jì)還用于在物理和化學(xué)實(shí)驗(yàn)、真空蒸發(fā)、冷凍干燥、醫(yī)療設(shè)備、分析儀、激光應(yīng)用設(shè)備、真空排氣設(shè)備、半導(dǎo)體制造設(shè)備的等離子蝕刻空間以及電子顯微鏡的真空包中創(chuàng)造真空條件。它還用于測(cè)量，例如
皮拉尼真空計(jì)原理
皮拉尼真空計(jì)是一種電阻真空計(jì)，可根據(jù)氣體與攜帶電流的鉑絲碰撞時(shí)耗散的熱能來(lái)計(jì)算電流。這意味著壓力是從當(dāng)前值向后計(jì)算的。這個(gè)微小的壓力直接對(duì)應(yīng)于真空度。
皮拉尼真空計(jì)的探頭內(nèi)部有一根極細(xì)的鉑絲，通電將其加熱到200度左右。當(dāng)空氣撞擊到這根鉑絲時(shí)，熱量就會(huì)從鉑絲上被帶走，為了將鉑絲的溫度維持在200度，控制器給了鉑絲更多的功率。
反之，如果沒(méi)有氣體分子撞擊鉑絲，則只需少量的電量即可將鉑絲的溫度維持在200度。通過(guò)測(cè)量供給鉑絲的電量的變化，可以測(cè)量測(cè)量環(huán)境的真空度。
此外，為了保持皮拉尼真空管的精度，鉑絲的管理也很重要。鉑絲會(huì)隨著反復(fù)通電而磨損，達(dá)到200度比新時(shí)需要更多的電量，所以需要定期更換。另外，鉑絲上附著的灰塵會(huì)影響測(cè)量精度，因此定期清潔是必要的。
有關(guān)真空計(jì)的其他信息
真空度的定義
壓力分為低真空、中真空、高真空、超高真空等真空度，皮拉尼真空計(jì)可以測(cè)量從低真空到中真空。根據(jù)JIS（日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)），真空度根據(jù)壓力范圍分為如下所示的五類(lèi)。
- 低真空：10?5?Pa～10?2?Pa
- 中真空：10?2?Pa～10?-1?Pa
- 高真空：10?-1?Pa～10?-5?Pa
- 超高真空：10?-5?Pa 至 1?0-8?Pa
- 極高真空：10?-8?Pa以下