真空計(jì)測(cè)量范圍
?在壓力測(cè)量中，除少數(shù)直接測(cè)量外，絕大多數(shù)是間接測(cè)量。它首先在被測(cè)氣體中引起某些物理現(xiàn)象，然后在此過(guò)程中測(cè)量與壓力有關(guān)的物理量，然后嘗試確定壓力值。這是真空測(cè)量的特點(diǎn)，也會(huì)引起一些問(wèn)題。
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任何特定的物理現(xiàn)象與壓力之間的關(guān)系在一定的壓力范圍內(nèi)最為顯著，超過(guò)這個(gè)范圍后，這種關(guān)系變得很弱。因此，任何方法都有自己的測(cè)量范圍，即真空計(jì)的“范圍”。盡可能擴(kuò)大各種方法的范圍是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一?，F(xiàn)代真空技術(shù)涉及的壓力范圍寬達(dá)19級(jí)（105 ~ 10-14pa）。沒(méi)有真空計(jì)能測(cè)量如此寬的壓力范圍。因此，通常使用幾個(gè)真空計(jì)來(lái)控制某些區(qū)域。然而，由于各種真空計(jì)的原理不同，它們連接的區(qū)域往往會(huì)產(chǎn)生較大的誤差。
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在被測(cè)空間中會(huì)產(chǎn)生一些物理現(xiàn)象，這個(gè)問(wèn)題也會(huì)出現(xiàn)，即從測(cè)量的角度來(lái)看，需要一個(gè)簡(jiǎn)單的物理現(xiàn)象，但有時(shí)一系列寄生現(xiàn)象是不可避免的。這些寄生現(xiàn)象不僅給測(cè)量帶來(lái)誤差，有時(shí)還“占主導(dǎo)地位”，完全掩蓋了主要現(xiàn)象。
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從上述觀點(diǎn)來(lái)看，為了提高真空計(jì)的性能，提高真空測(cè)量的精度，必須突出主要現(xiàn)象，抑制寄生現(xiàn)象。