真空計(jì)的壓力測(cè)量特性
?真空測(cè)量特性
1.測(cè)量壓力范圍寬,105~10~14Pa。
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2.大多數(shù)真空計(jì)是間接測(cè)量的。只有當(dāng)壓力為105~1OPa時(shí),才能直接測(cè)量單位面積的力。然而,大多數(shù)真空測(cè)量的壓力比上述值小得多,無法直接測(cè)量。低壓下氣體的一些特性(如熱傳導(dǎo)、粘度和電離)應(yīng)用于間接測(cè)量。
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3.多采用非電量測(cè)量技術(shù)。
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4.大多數(shù)真空計(jì)讀數(shù)與氣體的類型和成分有關(guān)。因此,測(cè)量時(shí)應(yīng)特別注意待測(cè)氣體的類型和成分,否則會(huì)造成很大誤差。
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5.測(cè)量精度不高。
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6、市場(chǎng)可用性、購買難度和規(guī)格。