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測量方法

測量方法主要分為三種類型。這些是“檢測壓力本身的方法”、“利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法”和“利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法”。

檢測壓力本身的方法
U型管真空計是一種利用壓力本身檢測的真空計。 U型真空計是將玻璃制成的U型管的一側(cè)抽真空并密封而成，是壓力表。

氣體壓力差可以從壓力差引起的液柱高度讀取。 U型真空計的獨特之處在于它不屬于氣體類型。因此，它被用作其他真空計的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)，因為它允許絕對測量壓力。

利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法
熱傳導(dǎo)真空計是利用氣體傳輸現(xiàn)象的真空計。這是利用氣體的熱導(dǎo)率根據(jù)壓力而變化的特性的真空計。

熱傳導(dǎo)真空計有多種類型，包括皮拉尼真空計、熱敏電阻真空計和熱電偶真空計。關(guān)于熱傳導(dǎo)真空計需要注意的重要一點是，在高真空下，熱輻射的影響變得大于熱傳導(dǎo)的影響。因此，熱導(dǎo)真空計的缺點是不能用于高真空測量。

利用氣體中電離現(xiàn)象的方法
利用氣體電離現(xiàn)象的真空管有潘寧真空計（冷陰極電離真空計）和離子計（熱陰極電離真空計）。彭寧真空計可以利用真空中的放電現(xiàn)象來測量壓力。雖然具有優(yōu)異的耐久性，但其靈敏度根據(jù)氣體種類的不同而有很大差異。

潘寧真空計的優(yōu)點是電路配置簡單。另一方面，其缺點是潘寧放電不穩(wěn)定，難以高精度測量。此外，如果表面污染嚴(yán)重，則從陰極發(fā)射的電子量會減少，導(dǎo)致無法放電，并且如果陰極處于高真空中，則可能難以開始放電。