真空計的測量范圍
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真空計的測量范圍
壓力分為低真空、中真空、高真空、超高真空等真空度,根據(jù)真空計的類型不同,測量真空度也不同。根據(jù)JIS(日本工業(yè)標準),真空度根據(jù)壓力范圍分為如下所示的五類。皮拉尼真空計可以測量低真空到中真空,電離真空計可以測量中真空到超高真空。
- 低真空:10?5?Pa~10?2?Pa
- 中真空:10?2?Pa~10?-1?Pa
- 高真空:10?-1?Pa~10?-5?Pa
- 超高真空:-5?Pa至1?0-8?Pa
- 極高真空:10?-8?Pa以下

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壓力分為低真空、中真空、高真空、超高真空等真空度,根據(jù)真空計的類型不同,測量真空度也不同。根據(jù)JIS(日本工業(yè)標準),真空度根據(jù)壓力范圍分為如下所示的五類。皮拉尼真空計可以測量低真空到中真空,電離真空計可以測量中真空到超高真空。