差壓器在潔凈室內(nèi)環(huán)境測量
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潔凈室內(nèi)環(huán)境測量
圖2.潔凈室示意圖
在潔凈室中,保持空氣潔凈度非常重要。盡管空氣不斷循環(huán),但仍使用過濾器去除灰塵和其他顆粒以保持清潔。使用壓差表檢查過濾器性能是否惡化非常重要。
另外,潔凈室內(nèi)部保持正壓(大氣壓高于1個(gè)大氣壓),以防止灰塵從潔凈室外部進(jìn)入。您還可以使用壓差計(jì)檢查是否保持正壓。特別是如果潔凈室內(nèi)安裝了某種排風(fēng)系統(tǒng),很可能會(huì)出現(xiàn)負(fù)壓,所以檢查正壓是必不可少的。